【纳米】Nano Lett.┃光学非线性与化学非线性协同作用无掩模超衍射投影光刻实现跨尺度微纳结构高效制备
英文原题:λ/12 Super Resolution Achieved in Maskless Optical Projection Nanolithography for Efficient Cross-Scale Patterning
通讯作者:董贤子,中国科学院理化技术研究所;郑美玲,中国科学院理化技术研究所;段宣明,暨南大学
作者:Yu-Huan Liu(刘玉环), Yuan-Yuan Zhao(赵圆圆), Feng Jin(金峰), Xian-Zi Dong(董贤子), Mei-Ling Zheng(郑美玲), Zhen-Sheng Zhao(赵震声), and Xuan-Ming Duan...
2021-06-30